微电子行业微量氧分析仪
微电子行业微量氧分析仪
应用范围
Nernst 1732微电子行业便捷式微量氧分析仪是专门针对微电子行业设计制造的第7代微氧分析仪。广泛应用于快速退火炉，Rapid Thermal Processing，真空焊接炉,电子行业芯片制造，回流焊，手套箱，3D打印，生物医药业,精密零部件光亮退火炉，高强合金刀具涂层处理设备等,以及各种小型设备上需控氧的工艺。由于采用长寿命，高精度氧化锆片结构原理，可有效测量微氧，所测微氧量可达10-30%~100%氧含量，特别适合对产品工艺氧含量要求控制要求严格设备和工艺。分析仪实时提供炉内或保护气份中的微氧含量ppm以及12种其他有用的参数。微氧气分析仪也适用于其他各种需要测量高精度氧气含量的领域。
技术特点
氧探头传感器：内置式高精度片状氧化锆传感器，反应速度快，响应时间＜100毫秒。
多路输出控制：仪器有两路4～20mA电流输出及计算机通讯接口RS232或网络通讯接口RS485。
测量范围：测氧范围10-30%~100%氧量。
氧量显示单位：百分含量%，PPM方式，科学计数法e-X%自动转换。
报警设置： 仪器有1路通用报警输出以及3路可编程序报警输出。
自动校正：仪器会自动监测各功能系统并自动校正以保证仪器测量时的精度。
智能系统：仪器可人机对话并按预定的设置完成各项设置的功能。
显示输出功能：仪器有很强的显示各种参数的功能并具有很强的各种参数的输出和控制功能。
安全功能：当炉子停止使用时，用户可控制关闭探头的加热器以确保使用时的安全。
无需安装：仪器为一体化便捷式分析仪。
规格和参数
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| 内置式氧化锆探头（氧传感器） 烟道或备用温度计类型K，R，J，S型 压力气体清除信号输入 两种不同燃料的选择 安全操作控制（仅适用于加热型探头） |
两路线性的4～20mA直流输出（最大负载600Ω） |
第一路输出范围（可选择） 线性输出0～1%至0～100%氧气含量 对数输出0.1～20%氧气含量 微氧输出10-25至10-1氧气含量 |
第二路输出范围（可从下列中选择） 可燃性 缺氧 探头输出电压 二氧化碳 效率 烟道温度 对数氧 微氧 |
85V～240VAC 3A |
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| 可燃性 缺氧 探头输出电压 二氧化碳 效率 烟道温度 探头的温度 探头的阻抗 环境温度 环境湿度 年月日 运行及维修的时间 |
仪器具有RS232或RS485串行输出口 可直接连接计算机终端或打印机以及通 过计算机对探头和分析仪进行诊断处理 |
仪器具有1路清尘和1路标准气校正 或2路标准气校正输出继电器，可自动或手动操作的磁阀开关 |
仪器测量精度±0.5% FS， 重复精度±0.2% FS |
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| 60 × 32mm LED 液晶显示器 |
10分钟达到工作温度720℃
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300kpa | 316不锈钢 | ＜100毫秒 | |||||
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| 具有14种不同功能的通用报警，以及3个程序可编程报警。可用于氧气含量高低及探头出错测量误差等警告信号。 |
0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm， 0-10000ppm，0-5%，0-10%，0-100%， 自动 |
参比气采用微电机振动泵 | 宽300mm高220mm 厚320mm 重量2.5Kg |
-25～50℃ 5%～95%RH |
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